第66章 參觀晶圓廠流水線(上)

晶圓廠食堂。

餐桌上的氛圍十分尷尬,首先是藍展博,總是有意無意地和王向中以及金圓圓保持著距離,而白馬也是知道自己闖了大禍,一改往常的話癆性格,只是在那悶頭吃著飯。

葉志華倒還是和原來一般模樣,只是偶爾吃兩口,便會抬頭看看自己幾個學生的神態和反應,旋即又搖搖頭繼續吃飯。

金圓圓則也是悶頭吃著自己的飯,一言不發,也不抬頭,選擇做一個隱身人。

王向中也只能板著尷尬的臉色,嚼著發苦的饅頭,喝著發澀的湯,如今場面是他自己自找的,也怪不了誰。

他倒是身正不怕影子歪,只是怕兩件事,一是發生這事對金圓圓的聲譽有所影響,二來是自己在別人眼中的評價會降到冰點。

就拿藍展博來說,本來他就看不慣王向中,現在的話,恐怕會直接將王向中當成一個無恥婬賊看待了。

今天的早餐仍然是由牛玉鵬負責接待,他瞧見幾個人都是一言不發的樣子,還以為他們仍然在為昨天王向中的話而耿耿于懷,繼而便是笑道︰「我說王老弟啊,年輕人行將就錯,是可以理解的。」

「嗯?」王向中瞳孔一震,真是沒想到這事竟然傳的這麼快,居然讓牛主任知道了,這未免有些太丟人,于是便也神色尷尬地回應道︰「牛主任教訓的是。」

見到王向中認錯,牛玉鵬也不是個小家子氣人,當即也是豪爽表示道︰「以後這種事啊,要低調著做,不要太高調。很正常嘛,有時候不在乎別人的眼光,也是一種勇氣的表現……」

說著說著,飯桌上幾人的表情更是精彩起來。

牛玉鵬見到幾人神色怪異,也是露出一副錯愕的表情,聲音也是逐漸小了起來,他有點不明白,是不是自己說錯了什麼……

一直到了參觀晶圓廠淨室之時,氣氛才稍稍緩解下來。

「這里就是我們晶華的淨室了。」牛玉鵬指著不遠處一棟約莫五六層高的建築,笑著解釋道︰「這里也就是生產晶圓的核心區域。」

畢竟他們是來指導晶圓生產流水線的,昨天王向中和金圓圓逛的是 片的生產線,自然不屬于晶圓生產的範疇之內,因此也並沒有從頭開始參觀。

「很奇怪啊,如果停工一段時間,晶圓的良品率就會有所上升,但是在工作一段時間後,晶圓良品率就不行了,經常出現大面積晶體管損毀的現象。昨天是開工的第一天,所以今天的良品率還算是可以。」

牛玉鵬也是嘆了一口氣,繼續補充道︰「我們懷疑可能是哪套環節出現了問題,所以還請各位專家多多看看,分析一下問題的原因。」

葉志華也是面色沉重地點了點頭,他也知道,這次幾人背負的任務還是挺重的,就連他也沒有信心,一定能抓住問題本質核心所在。

王向中一听到這話便知道,這問題大概率就是出在 片生產線上了。在這個年代,即使有廢氣過濾系統,對氯化氫分子進行中和處理,但依然還是會有不少氯化氫氣體逃逸而出,接著通過通風系統進入淨室之內。

雖然氯化氫在常溫下不與 直接反應,但是在PN二極管上的硼,以及金屬電路所使用的鋁,則就沒那麼幸運了,它們會與氯化氫共同反應,直接破壞電路上的結構,從而導致廢品率明顯增多。

但除了金圓圓之外,所有人都不知道,其實這個問題早就被王向中一眼就給破解了,其關鍵問題根本就沒有出在內部生產線中,而是外部的 片生產線上。

當然王向中也不可能現在就把這個問題說出來,他還需要更多的細節來驗證自己的猜想。

幾人跟著牛玉鵬上了樓,便隱約听到前面房間里呼嘯而來的風聲。

「前面就是淨室了,」被噪音影響,牛玉鵬的聲音也不自覺地大了幾分,「一會咱們就要換衣服進入淨室了,先聲明一下,里面不能吃東西,不能月兌口罩,不能咳嗽撓癢,以防止污染物流入生產線,听明白了沒有?」

幾人听到牛玉鵬的話,皆是點了點頭。

淨室,顧名思義,即是干淨的生產室。這條5英寸的晶圓生產線,制程約在0.9微米左右,普通的灰塵等顆粒污染物,其直徑尺寸大概就是幾微米左右的樣子,一旦在生產線上出現灰塵顆粒,極有可能直接將數張甚至數百張晶圓直接報廢,所以需要格外謹慎。

淨室不僅在溫度、濕度、壓強等指標方面控制相當嚴格,就連微震動指標,也是它所關心的數據之一,就拿光刻機來說,只要出現一點點震動,就可能導致光掩模偏離,或者光源不穩等情況,直接報廢晶圓。

這個年代都還好,在未來納米級別的芯片時代,就連患了感冒都不被允許進入淨室,要知道一顆病毒的直徑大多就在一百納米左右,只要一個不慎,一口噴嚏下去,暫且還不提震動的事情,就算是這口噴嚏中的病毒,直接的經濟損失至少也是數十萬……

等到他們穿戴好防塵服,靜電鞋,以及防塵目鏡和口罩,在一番仔細檢查,確認頭發等細物都未暴露在空氣中時,方才被允許進入氣鎖室內,進行下一步的除塵工作。

晶華淨室使用的還是紊流潔淨室方案,也就是頂層布置少量風機,兩側開設回風口,通過氣流壓強進行氣流循環,以保證整體的潔淨度。

這種紊流潔淨室的優點是整體價格比較低,部署周期相對較短,在這個年代屬于比較常見的淨室方案。

在未來,層流潔淨室將會代替這種古老的方案,通過大量風機垂直對準地板上的出風口,將均勻的氣流對整體形成循環,以保證最少的雜質和異物進入生產線中。

「我們一般都是使用四探針法,對 棒進行整體的良率測試,探測出它的軸向雜質濃度,以確認該晶圓是否可以正常使用。」

「一般送到這里的 棒都已經是初步處理過了,已經將 棒初步剪裁,大概每一段都是三十厘米左右的樣子。」

牛玉鵬指著屋內正在不停運轉的機器,繼續介紹道︰「這個就是內圓切割機,用于將 棒切割成晶圓。」

眾人望過去,數十台白色的機器正在其內不斷運轉,然後自動打包出不少半透明的盒子,而盒子里面,裝的就是一片一片的晶圓。

晶圓相對還是很重的,而且在這個年代,大多都是使用人工進行晶圓運輸工作,就比如此時,王向中就看到兩個工作人員,正小心翼翼地將裝有晶圓的透明盒子緩緩卸下,放在小推車上。

晶圓說白了,就是一整片 單質,它在常溫下是高脆度的固體形態,即使是工作人員已經足夠小心了,但只要有一個磕踫,就可能導致晶圓表面出現肉眼不可見的裂縫,從而使得良品率下降。

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